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※全てリニアスケール付の為、公差±15μの加工が可能。 Z軸の制御は1μm単位での加工が可能。 掘り加工下層パターン露出加工(座グリ)も公差±5μで仕上げる事が出来ます。
6軸機 リニアスケール X軸・Y軸・Z軸付:11台
BGA・CSP・MCM及びビルドアップ基板等の高精度ルーター加工。