※全てリニアスケール付の為、公差±15μの加工が可能。
Ｚ軸の制御は1μm単位での加工が可能。
掘り加工下層パターン露出加工（座グリ）も公差±5μで仕上げる事が出来ます。

6軸機　リニアスケール　Ｘ軸・Ｙ軸・Ｚ軸付：11台